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产品概述：
GZK-PID-VRD24恒压系统通过PID控制真空泵的转速来控制抽气速率，进而获得腔室压力的精密测量和恒压控制，与我公司的管式炉/镀膜仪等设备相结台，实现CVD、PECVD等工艺的压力恒定的精确控制，广泛用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、混气配气系统及其他分析仪器中。
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